插板门的上盖法兰与壳体的密封结构

超高真空插板门其上盖法兰和壳体处的密封结构：由于超高真空环境需要烘烤以及材料的限制，所有密封选择全金属密封的方式。对于上盖法兰和壳体的密封件材料常用的有铝、铜、不锈钢和金等金属或者经过处理后的合金材料，密封结构可以采用国标推荐的金属密封法兰的方式，其中密封件有：金属O型圈丝、异形截面密封垫圈、平面（用于圆锥端面、直角形、刀口、斜楔、台阶、铝箔和惠勒密封）密封件，如图2所示。

上述密封结构对法兰密封面的加工及两法兰配合精度要求高，且一般仅用于圆形小尺寸法兰的密封。相对于大口径，其上盖法兰和壳体法兰一般不做成为一个圆形状，要达到密封效果，上盖法兰密封面需要加工为刀口一类的密封结构，加工工艺尤为困难，且基本无法重复利用。为此，更多地可以采用平面法兰平面密封，按法兰轮廓形状设计密封件并对密封件表面镀层处理，其基体材料可选择与壳体材质相同材质，其镀层可以选用银或者金等延展性较好的金属材料，上盖法兰密封平面和壳体法兰密封面相对容易达到密封要求，且满足了在插板门寿命时间范围内，完全可以满足反复拆装次数要求，且其形状亦可以设计为更加符合插板门外形的结构，如图2上盖法兰密封垫片所示。