插板门的密封板的密封结构

超高真空插板门密封板的密封要保证密封效果的同时，也需要考虑插板门开关循环次数、加工工艺以及成本等方面。本文中主要对以下几种结构对比分析，密封板密封结构可见图3所示。

对密封板密封结构主要有两大类：塑形变形密封和结构密封。对塑形变形密封，结构简单，但结构对零件材料选择要求极高，无法重复使用。对结构密封，通过设计特定的结构以满足密封要求，结构复杂，加工要求比较高。

结构a中，大多采用类似于法兰CF刀口密封方式强制材料塑性变形，来发挥密封作用（见图3中结构a），且随着插板门启闭次数的增加，密封面上所需的比压也成倍增加，在设计过程中对插板门体的刚性要求也必须增加，以满足密封面上所需的力。这样不但增加了材料成本，同时使用寿命也无法保证。

结构b中延用的是目前高真空插板门普遍采用的结构之一（见图3插板门的结构b），采用的是成型密封环的结构，只是将原非金属密封圈更改为金属圈，这样既保证了烘烤所需要考虑材料问题也保证了密封问题。这样的方式结构简单容易实现，基本只需要少量的变形就能到达密封效果，但对与之配合的零件的加工工艺比较难于保证，对于密封圈配合的面的精度及表面粗糙度要求极高。此种特定形状的金属密封环（可以为O形或者C形）目前国内厂家有相似的产品，但精度无法保证。因此，只能基本依赖进口，成本昂贵。

结构c中壳体插板门座与密封板的配合为锥面密封结构，由于为锥面配合密封的方式，壳体插板门座与密封板有自定心的特点，大大地降低了加工难度，且在此结构下密封面的材料基本不需要塑形变形，结构保证即可达到密封的效果。对材料的选择也无特别的要求，选择常用的符合超高真空环境要求的材料即可，只需要对密封面进行处理，如硬化或者镀层即可满足使用寿命的要求，使用过程中密封所需要的比压也不会增加。对自制密封件还可后期更换，大大减少了维护成本。对于结构c还有几种变形结构：变形结构i，将密封环密封面设计成圆弧状或者球状；结构ii，结构为常规结构，减小密封面接触宽度，对密封面特殊处理，通过镀层或者对壳体密封面与密封板密封面有一定硬度差，这样一定程度上减小了密封比压，使得启闭力大大降低。